擴散爐多少錢一臺?擴散爐有哪些廠家?
中國電子科技集團公司第四十八研究所
江西展宇新能源股份有限公司
青島華旗科技有限公司
賽姆柯(蘇州)智能科技有限公司
山東力冠微電子裝備有限公司
擴散爐數(shù)據(jù)指標
設備用途:用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光電器件、光導纖維等行業(yè)的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。
設備特點:單元組合方式。根據(jù)工藝的不同,可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。
主要技術指標:
爐管數(shù):1~4管
配工藝管口徑:Φ90~360 mm (3~12英寸)
恒溫區(qū)長度:760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
單點穩(wěn)定性:±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
氣源路數(shù): ≤7路,可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
氣體控制: 浮子/質量流量計
懸臂舟參數(shù):速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 載荷:17 Kg
超凈工作臺:凈化等級:100級(萬級廠房)
噪音: ≤62dB(A)
振動: ≤3μm